氮?dú)馔嘶饍煞N常用工作模式

1. **真空置換 + 微正壓氮?dú)饬鲃樱ㄍ扑]，低氧退火）**

抽真空 → 充氮?dú)猓h(huán) 2~3 次，把管內(nèi)空氣置換干凈；之后持續(xù)小流量通氮?dú)猓瑺t管維持微正壓（0.02~0.05MPa），**防止空氣倒灌**，殘氧可做到≤10ppm，適合金屬、半導(dǎo)體、碳材料退火。

2. **常壓氮?dú)獯祾撸ê喴追桨福瑹o真空泵）**

持續(xù)大流量氮?dú)獯祾?10~15min 排空氣，之后小流量維持；殘氧偏高，適合對氧不敏感樣品。

退火原理：氮?dú)鈱儆诙栊员Ｗo(hù)氣，不參與反應(yīng)，消除氧氣，在高溫下消除樣品內(nèi)應(yīng)力、修復(fù)晶體缺陷、細(xì)化晶粒。

 典型應(yīng)用場景

- 金屬薄片、粉末氮?dú)馔嘶穑?yīng)力、防氧化

- 石墨烯、碳材料、陶瓷粉體退火

- 半導(dǎo)體薄膜、硅片、鋰電池正極材料退火

- 樣品熱解、燒結(jié)、晶化處理